论文部分内容阅读
采用脉冲激光沉积（PLD）方法在单晶Si衬底上制备AlN薄膜．利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（xRD）对薄膜的形貌和微观结构进行了分析；采用显微硬度仪、球一盘式磨损试验机和涂层自动划痕仪测试了薄膜的机械性能．通过正交实验，分析了工艺参数与AlN薄膜硬度之间的关系，得出沉积气压是对薄膜硬度影响大的因素，并研究了沉积气压对A1N薄膜表面形貌、微观结构、沉积速率、硬度、结合力和摩擦性能的影响．实验结果表明：所制备的薄膜均为非晶结构，随着沉积气压的上升，薄膜沉积速率降低，薄膜表面粗糙度降低，摩擦系数变