在蓝光LED和激光器外延片上消除弯曲

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德国LayTec公司和费迪南一布劳恩研究所提出了一项新型在线检测技术.通过减少晶片的弯曲来优化蓝光LED和激光二极管的外延生长。LayTec公司的新型在位传感器能够提供在位应力、温度和反射率的同时检测,这有利于蓝光LED和激光器的生产与发展。这种传感器成功的应用于全球各相关研究所和公司,用于优化以GaN为基材料的金属有机化学汽相沉积(MOCVD)生长。德国柏林的费迪南-布劳恩研究所得到的最新结果表明,这项技术是切实可行的。
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