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用200～320nm的光辐昭硅烷和臭氧的混合物，生成细小的二氧化硅颗粒(质点)。假设选样一种机理：在气相中硅烷与臭氧进行氧化，形成二氧化硅核，并在核的表面上由硅烷与O2(‘△)或O(’D)核素进行多相反应使核长大。生成的细小颗粒用光一散射的方法，仅用1毫升样品，就很容易检测5vppm以下的硅烷(美国政府工业卫生会议推荐的允许极限值为5vppm)。