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TiN/AlN纳米多层膜的制备及力学性能
TiN/AlN纳米多层膜的制备及力学性能
来源 :上海交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vgbin2
【摘 要】
:
采用多靶反应磁控溅射法制备了TiN/AlN纳米多层膜,并通过XRD、TEM和显微硬度计对多层膜的调制结构和力学性能进行了研究。结果表明,反应磁控溅射法制得的纳米多层膜调制界面平直清晰;薄膜的硬
【作 者】
:
李戈扬
张流强
【机 构】
:
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
:
上海交通大学学报
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
纳米多层薄膜
力学性能
氮化钛
氮化铝
制备
nanomultilayers reactive sputtering modulation structure
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采用多靶反应磁控溅射法制备了TiN/AlN纳米多层膜,并通过XRD、TEM和显微硬度计对多层膜的调制结构和力学性能进行了研究。结果表明,反应磁控溅射法制得的纳米多层膜调制界面平直清晰;薄膜的硬度随其调制周期∧的减小而单调增加,硬度在∧=2nm时达到最大值HK32.93GPa。
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