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通过对现有单面扩散工艺的分析论证，提出了一种可在进出舟、氧化、预扩散、再分布、降温等步骤上缩短单面扩散工艺时间的方法，时间可缩短19min，产能可提高21．8％。
一种提升太阳电池单面扩散产能的方法研究
【摘 要】
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通过对现有单面扩散工艺的分析论证，提出了一种可在进出舟、氧化、预扩散、再分布、降温等步骤上缩短单面扩散工艺时间的方法，时间可缩短19min，产能可提高21．8％。
【机 构】
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浙江正泰太阳能科技有限公司
【出 处】
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太阳能
【发表日期】
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2016年12期
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