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金刚石的许多性质使它成为微结构为器件的优异材料。现已证明金刚石薄膜有压阻效应，这个性能打开了金刚石薄膜在压力传感器领域的应用，研究了金刚石薄膜的欧姆接触，热敏特性和压阻特性，研究表明金刚石薄膜可制成适于高温工作的传感器。
金刚石薄膜压力传感器的研究
【摘 要】
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金刚石的许多性质使它成为微结构为器件的优异材料。现已证明金刚石薄膜有压阻效应，这个性能打开了金刚石薄膜在压力传感器领域的应用，研究了金刚石薄膜的欧姆接触，热敏特性和压
【机 构】
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天津理工学院光电系
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2000年8期
【基金项目】
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“金刚石薄膜压力传感器的研究”(编号:863-715-002-0060)
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