【摘 要】
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对微机电系统（MEMS）旋转机械微轴承，尤其是微型干摩擦、电磁和气体轴承的研究现状进行评述，介绍微型干摩擦轴承、微型电磁轴承及微型气体轴承的各种润滑特性，主要分析微型气体轴承
【机 构】
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上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室,上海交通大学微纳科学研究院
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对微机电系统（MEMS）旋转机械微轴承，尤其是微型干摩擦、电磁和气体轴承的研究现状进行评述，介绍微型干摩擦轴承、微型电磁轴承及微型气体轴承的各种润滑特性，主要分析微型气体轴承的设计、加工制造及动力润滑特性问题，分别探讨微尺度效应和滑流效应对微型气体轴承润滑特性的影响，并对相关领域的研究进展进行展望。
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