成晶速度对多晶硅检测的影响研究

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目前晶体检测生长主要在气氛或真空氛围中,通过悬浮区熔拉制,进而达到检测的目的,其中包括C、O、施主、受主杂质含量.本文主要研究熔体移动速度对施、受主杂质分凝系数的影响,提出合理的拉制速度,进而弥补GB/T4059-2007中对单晶生长速度的模糊处理.改善检测的准确性.
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