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期刊论文
成晶速度对多晶硅检测的影响研究
成晶速度对多晶硅检测的影响研究
来源 :中国化工贸易 | 被引量 : 0次 | 上传用户:deiaw
【摘 要】
:
目前晶体检测生长主要在气氛或真空氛围中,通过悬浮区熔拉制,进而达到检测的目的,其中包括C、O、施主、受主杂质含量.本文主要研究熔体移动速度对施、受主杂质分凝系数的影响
【作 者】
:
吴良
【机 构】
:
黄河水电光伏产业技术有限公司,青海西宁,810000
【出 处】
:
中国化工贸易
【发表日期】
:
2015年26期
【关键词】
:
分凝系数
多晶硅检测
电阻率
磷
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目前晶体检测生长主要在气氛或真空氛围中,通过悬浮区熔拉制,进而达到检测的目的,其中包括C、O、施主、受主杂质含量.本文主要研究熔体移动速度对施、受主杂质分凝系数的影响,提出合理的拉制速度,进而弥补GB/T4059-2007中对单晶生长速度的模糊处理.改善检测的准确性.
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