【摘 要】
：
通过分析集成电路制造工艺中的核心环节——光刻技术,采用机械微复形原理的压印光刻技术可避免传统光学光刻的光学衍射限制,能够对最小到6 nm特征尺寸的图形进行复制。通过研
【机 构】
：
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
论文部分内容阅读
通过分析集成电路制造工艺中的核心环节——光刻技术,采用机械微复形原理的压印光刻技术可避免传统光学光刻的光学衍射限制,能够对最小到6 nm特征尺寸的图形进行复制。通过研究压印光刻原理,详细分析对比热压印及常温压印的工艺特点、复形面积、模具结构和阻蚀胶固化过程等,揭示出常温压印更适用于多层套刻的图形制作。针对基于紫外光固化的常温压印光刻工艺在压印过程中的关键技术:阻蚀胶成膜控制、对准、套刻、精确加载、留膜厚度控制、阻蚀胶固化控制等进行深入研究,提出释放保形软压印工艺,能够实现基于常温软模具压印的大面积亚100 nm级特征尺寸图形的复制。最后,以SIL-(?)型分步式常温紫外光固化压印光刻机的研究为例,对其结构特性做出深入分析,估算出系统的精度等级;通过试验,对系统的压印复形精度做出评估。
其他文献
肿瘤骨转移是晚期肿瘤的一个常见并发症，多见于前列腺癌、乳腺癌和肺癌。其发生常预示生活质量的下降和生存期的缩短，是导致患者死亡的一个重要因素，因此早期诊断骨转移瘤早期予
建立中小企业信用担保机构是解决其融资难的措施之一，但是效果并不明显。本文主要用信息经济学的有关理论和博弈论来解释中小企业信用担保风险的成因。
采煤沉陷区建设光伏电站项目是沉陷土地利用的新模式,为确保采煤沉陷区建设光伏项目的安全,必须进行采空区地基稳定性评估。以山西省大同市南郊区某光伏地块为例,根据矿山开
目的：观察联合应用全反式维甲酸(ATRA)和干扰素α-2a(IFN-α-2a)治疗大鼠膀胱肿瘤的疗效并探讨其机制。 方法：选用6-7周龄Wistar雌性大白鼠50只，随机分为4组，即DMSO组(A)、IFN
大型集中空调系统在工业领域应用广泛。随着科学技术和工艺要求的发展,对工业生产厂房内的气流组织质量和温湿度控制水平提出了更精细化的要求。卷烟厂卷包车间生产区中的原
事件相关电位技术已经被广泛地用于心理学测谎研究,但多数研究还是采用单一指标,比如P300常用于检测犯罪者对与犯罪信息相关的特异性刺激的加工。但是,在刑事案件中,往往还会
目的探讨非甾体类抗炎药物吲哚美辛(Indomethacin，IN)对荷瘤小鼠Lewis肺癌生长的抑制效果以及对放、化疗是否有增敏作用，为吲哚美辛广泛应用于临床治疗肺癌提供了依据。材料与
目的：检测Fas，Fasl在正常卵巢组织、良性卵巢组织、交界性卵巢上皮肿瘤和上皮性卵巢癌中的表达，探讨Fas、Fasl在上皮性卵巢癌中的表达与临床病理特征及预后的关系。方法：采用链霉
选取我院心内科行冠脉支架置入术的128例冠心病合并糖尿病患者,根据患者糖化血红蛋白水平分为观察组60例和对照组68例。所有患者均术后随访半年,入院行冠脉造影检查,对比两组
目的:分析我国居民含添加糖食物消费状况,为了解居民饮食行为、开展健康教育、慢性病预防提供科学依据。方法:使用2010—2012年中国居民营养与健康状况监测中的膳食回顾数据,