【摘 要】
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脉冲激光制膜是近年来发展的富有希望的制膜新技术。本文简要介绍了脉冲激光制膜技术的原理、特点和优势以及在功能薄膜研究中的应用。
Pulsed laser film is developed in
【机 构】
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北京大学物理系,北京大学微电子研究所,汕头大学科学院材料所,清华大学物理系
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脉冲激光制膜是近年来发展的富有希望的制膜新技术。本文简要介绍了脉冲激光制膜技术的原理、特点和优势以及在功能薄膜研究中的应用。
Pulsed laser film is developed in recent years promising new film technology. This article briefly introduces the principle, characteristics and advantages of pulsed laser film forming technology and its application in the research of functional films.
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