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利用XRD，SEM和TEM研究了Li2O-CaF2-Y2O3在AlN陶瓷低温烧结中的作用机理，研究发现，添加Li2O的AlN陶瓷有着更低的收缩开始温度和更大的收缩率，这种收缩来自于Li玻璃相与CaYAlO4液相的共同作用。在烧结过程中，Li2O不仅改变了AlN烧结过程中的相组成，而且改善了液上的性质。由于Li2O的Al2O3在1100℃以下反应生成含Li玻璃相，使得AlN开始收缩的温度大为降低。在1600℃以下，含Li玻璃相分解散失，有利于AlN晶界的纯化，同时，CaYAl3O7向CaYAlO4的转变以及