一种基于磁扭转的微镜电流传感器力学特性分析

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提出一种通过扭转引起光强变化来检测电流的磁敏传感器结构,包括扭转微镜结构和光检测部分。分析了传感器的磁敏原理和力学理论,根据结构设计综合考虑给出了传感核心部件的结构参数,通过仿真获得不同电流下扭转力矩与扭转角度、各结构参数的关系曲线,最后通过实验验证了分析的干扰信号的合理性,所要测量的交变电流信号跟测得的光强信号成正比,表明该电流传感器具有一定的实际应用价值。 A structure of a magneto-sensitive sensor for detecting current by changing the intensity of light caused by twisting is proposed. The structure includes a torsion micromirror structure and a light detecting portion. Based on the structural design, the structural parameters of the sensing core components are given. The curves of torsional moment, torsion angle and various structural parameters under different currents are obtained. Finally, the experimental verification The analysis of the interference signal rationality, the measured alternating current signal is proportional to the measured light intensity signal, indicating that the current sensor has a certain practical value.
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