【摘 要】
：
面对可用焦深日益缩短的趋势,高精度的焦面控制技术显得尤为重要。针对双工件台光刻机中采用的焦面控制技术,介绍了基于偏振调制的光栅检焦技术及其测量原理,研究了双工件台
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所; 中国科学院大学;
【基金项目】
：
国家自然科学基金(61274108)资助课题
论文部分内容阅读
面对可用焦深日益缩短的趋势,高精度的焦面控制技术显得尤为重要。针对双工件台光刻机中采用的焦面控制技术,介绍了基于偏振调制的光栅检焦技术及其测量原理,研究了双工件台光刻机中的调平调焦技术。基于平面拟合、最小二乘法及坐标变换公式推导了曝光狭缝内离焦量计算公式;研究了一种离焦量解耦算法,该算法将曝光狭缝内离焦量解耦为调平调焦机构三个压电陶瓷的独立控制量,并使狭缝曝光场中心在调平调焦运动过程中不发生平移。经仿真分析表明,该算法可用于调平调焦精度优于10nm的高精度调焦调平系统,能满足线宽小于100nm投影步进扫描光刻机的需要。
其他文献
鲜枣(Zizyphus Jujube Mill.)的营养品质极佳,但不耐贮藏,采后极易失水、褐化、酒化、发霉和腐烂现象,在常温下贮期仅为3-5天,这严重影响了鲜枣的商品价值。本研究用气体ClO2
目的探讨观摩式监测法在护理质量持续改进中的应用效果。方法 2010年1月,解放军第88医院将以帮助科室解决问题为主要目标的观摩式监测法应用于护理环节质量控制中,与实施传统
目的总结妇科腹腔镜手术后并发下肢深静脉血栓（DVT）的诊断与防治经验。方法将我院21例妇科腹腔镜手术后DVT患者的临床资料进行回顾性分析。结果经血管多普勒超声诊断,全部病例
庾信作为南北朝时期一位重要的作家,其特殊的人生经历与突出的文学成就成为后世评论的焦点。隋及初唐对侍臣庾信与诗人庾信的背离,开启了后世庾信批评的两条主线。
假若近期人民币贬值的趋势持续,或对香港经济有正面的直接影响。人民币贬值或有利本港对外贸易,促进香港经济增长加快。虽然来自中国内地的旅客或会减少消费,但2014年旅游服
目的探讨单纯胸腰椎压缩性骨折早期胃肠神经官能症的治疗方法。方法应用大承气汤和莫沙必利片分别治疗单纯胸腰椎压缩性骨折引起的早期胃肠神经官能症各40例,比较两组疗效的
<正> 编辑同志: 我村后山上有一棵古樟树,树高30多术,胸径为2.7米,材积达40多立方米,为全县第一大樟树,曾被拍照列入林业档案,作为保护树之一。2000年12月21日下午,张某等人
糖尿病下肢病变,其主要病因病机在于"湿",脾虚湿盛为糖尿病双下肢病变的基本病理特征。饮食肥甘不节,损伤脾胃,脾虚生湿,尤发于下肢,致湿浊痹阻脉络,造成血管内皮功能异常,多
<正>"缺乏土地资源",这几个字一直伴随着香港的发展进程,无论是过去,现在抑或是未来,弹丸之地的香港都亟需足够的土地来满足发展的需要。为了寻找可大规模开发的土地,自特首
目的了解邢台市蔬菜中有机磷农药污染残留情况,为进一步保障居民健康提供依据。方法 2010—2012年,在邢台市农贸市场及超市销售点通过网格布点法选取10个采样点(桥东区4个,桥