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在极紫外光刻系统中,真空工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位和扫描同步性能是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素.结合极紫外光刻机的工作原理和发展现状,论述了极紫外光刻机真空工件台系统的特征、组成及其关键技术.
极紫外光刻真空工件台技术研究
【摘 要】
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在极紫外光刻系统中,真空工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位和扫描同步性能是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素.结合极紫外光刻机的工作原理和发展现状
【机 构】
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中国科学院电工研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2005年1期
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