CrN films deposited by ion source-assisted magnetron sputtering

来源 :核技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaoyaozhu

【摘要】

：

CrN coatings were deposited on Si(100) and piston rings by ion source assisted 40 kHz magnetron sputtering.Structure and composition of the coatings were charac

【作者】

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LIU Chuansheng TIAN Canxin LI

【机构】

：

KeyLaboratoryofArtificialmicro-andnano-MaterialsofMinistryofEducationandSchoolofPhysicsandTechnology

【出处】

：

核技术：英文版

【发表日期】

：

2010年5期

【关键词】

：

溅射离子源磁控溅射氮化铬铬薄膜 SI(100) 透射电子显微镜扫描电子显微镜原子力显微镜 CrN Cathode source-substrate

【基金项目】

：

Supported by the Ministry of Industry and Information Technology （No. 2009ZX04012-032）.

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CrN coatings were deposited on Si(100) and piston rings by ion source assisted 40 kHz magnetron sputtering.Structure and composition of the coatings were characterized by X-ray diffraction,atomic force microscopy,scanning electron microscopy and transmiss

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