【摘 要】
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着重讨论了离子轰击能量影响类金刚石薄膜成膜过程的机理，特别引入了离子能流密度即在单位时间内成膜表面的单位面积上接收到的离子轰击能量的概念，这就能更加正确地解释离子轰
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着重讨论了离子轰击能量影响类金刚石薄膜成膜过程的机理，特别引入了离子能流密度即在单位时间内成膜表面的单位面积上接收到的离子轰击能量的概念，这就能更加正确地解释离子轰击在成膜过程中所起的作用。采用了具有特色的等离子体分解碳氢化合物结合高能离子轰击基片的方法制备类刚石薄膜。这种兼有ＰＶＤ和ＣＶＤ各自优点的ＰＣＶＤ方法，能独立地分别调节轰击基片的离子能量和离子流密度。实验结果表明，存在一个离子能流密度的
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