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本文从硅中硼磷扩散的宏观特性出发,介绍近几年来为解释这种扩散的宏观特性而提出的几种扩散机理模型,并对此作初浅的讨论。
关于硅中硼磷扩散的微观机理的讨论
【摘 要】
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本文从硅中硼磷扩散的宏观特性出发,介绍近几年来为解释这种扩散的宏观特性而提出的几种扩散机理模型,并对此作初浅的讨论。
【机 构】
：
上饶市经济委员会
【出 处】
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上饶师专学报(自然科学版)
【发表日期】
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1988年2期
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