涡轮分子泵的技术与应用

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涡轮分子泵最初仅用来获得超高真空。目前这种泵已经广泛地应用在许多技术领域中,诸如半导体生产、电子显微镜、薄膜与核聚变技术等。符合现代标准的涡轮分子泵应即能满足上述技术的要求,同时又不必耗费更多的资金。先进的分子泵对所有气体的抽速几乎是相同的。本文介绍了借助 Turbomolecular pumps were originally only used to obtain ultra-high vacuum. At present, such pumps have been widely used in many technical fields, such as semiconductor manufacturing, electron microscope, thin film and fusion technology. Turbo-molecular pumps that meet modern standards should immediately meet the requirements of the above technologies without any additional cost. Advanced molecular pump for all gas pumping speed is almost the same. This article describes the use of
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