【摘 要】
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提出一种基于平行板电容测微原理进行多层膜材料的测厚方法.该方法用有效电极直径Φ3 mm电容传感头,通过变化空气隙Δh进行多次测量,对输出电压V值进行线性拟合,得到空气隙与
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提出一种基于平行板电容测微原理进行多层膜材料的测厚方法.该方法用有效电极直径Φ3 mm电容传感头,通过变化空气隙Δh进行多次测量,对输出电压V值进行线性拟合,得到空气隙与测量电压的关系,计算出被测厚度,测量精度达0.01 μm.若采用有效电极直径Φ1 mm传感头,测量精度可达0.001 μm.通过理论分析和实验证实,该方法不需对被测材料提前标定相对介电常数,不需特殊制备样件,是非接触测量,测量方法简单、成本低.因此适用于各种薄膜、特别是多层结构膜的无损膜厚测量及平面度测量.
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