论文部分内容阅读
对一种用于传感的聚合物微谐振环进行了研制。器件为多模耦合器结构，作为微谐振环的输入／输出耦合结构，微谐振环采用跑道形结构。首先分析了器件的原理，给出了器件的优化设计参数。采用紫外光敏材料SU-8和CYTOP作为波导芯层和下包层材料，制作了上述结构的微谐振环器件，并进行了测试。扫描电镜的结果显示，所制备器件的整体形貌比较清晰，波导结构均匀光滑，侧壁陡直度较高。采用截断法测得单模直波导的传输损耗约为2．2dB／cm。对多模耦合器（MMI）结构和弯曲波导的测试表明，MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50：5