A biological sensing structure with a high-order mode (Ey21) is designed,which is composed of a suspended race-track mic......

为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7......

以一类典型的静电驱动双边电容型微谐振器为研究对象,基于全局分岔理论,研究微结构吸合不稳定的机理;在此基础上,在系统直流偏置电......

针对横向振动MEMS微谐振器，计入非线性空气阻尼力，对微谐振器非线性动力学特性进行研究。建立微谐振器非线性动力学模型，计入滑移边界......

对一种用于传感的聚合物微谐振环进行了研制。器件为多模耦合器结构，作为微谐振环的输入／输出耦合结构，微谐振环采用跑道形结构。首先......

谐振频率的大小是设计微谐振器时必须考虑的重要参变量,采用ANSYS有限元仿真软件分析不同结构尺寸下的微谐振器的谐振频率和模态,......

微机电系统（MEMS）测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈，其中一个重要方面就是MEMS器件运动特性的高速可视化。......

Application of micro-resonator is limited by different types of surface inhomogeneity. The 1-th derivative of inhomogene......