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Aviza Technology宣布其单晶圆ALD系统Celsior^TM得到了来自-台湾主要晶圆代工厂的订单，用于90nm工艺300mmDRAM的量产，这标志着该系统在亚洲的安装数量进一步扩大。Celsior^TM系统结合了Trikon Technology的技术。
SEMICON West展会期间公布的主要设备材料供应商获得的订单
【摘 要】
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Aviza Technology宣布其单晶圆ALD系统Celsior^TM得到了来自-台湾主要晶圆代工厂的订单，用于90nm工艺300mmDRAM的量产，这标志着该系统在亚洲的安装数量进一步扩大。Celsior^TM
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年8期
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