KLA—Tencor全新掩膜检测系统问世TeraFab家族三款新品齐亮相

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【摘要】

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KLA-Tencor公司日前推出全新的TeraFab系列掩模检测系统，为评定掩膜质量检测掩膜污染提供了灵活的解决方案。TeraFab系统针对不同检测需求提供了三种不同配置产品，包括TeraFabS

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2008年2期

【关键词】

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KLA-Tencor公司检测系统掩膜家族质量检测 ab系统膜污染掩模

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KLA-Tencor公司日前推出全新的TeraFab系列掩模检测系统，为评定掩膜质量检测掩膜污染提供了灵活的解决方案。TeraFab系统针对不同检测需求提供了三种不同配置产品，包括TeraFabSLQ-2X、TeraFab Q-3X及TeraFab SLQ-1X。

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