KLA-Tencor公司推出Aleris系列薄膜度量系统，该系列从Aleris 8500开始．是业界第一套将可用于生产的成份与多层薄膜厚度测定结合在一......

KLA-Tencor公司日前推出新的叠对计量Archer AIM+系统。该系统能够满足芯片制造商对65纳米节点以下的光刻叠对控制要求。Archer AI......

KLA-Tencor公司推出了全新系列的光罩检查系统，为晶片厂提供更灵活的配置方式，以检验进货的光罩，并检查生产光罩是否存在会降低产能并......

KLA-Tencor公司日前正式推出业界最新的覆盖计量解决方案——Archer AIM＋系统，该系统专门用于满足芯片制造商对65nm节点以下的光刻覆......

KLA-Tencor公司新近推出了PlasmaVolt~(TM) X2,可用于在半导体晶圆处理系统中测量等离子室的状况。由于增加了内嵌式传感器数量,且......

KLA-Tencor公司日前推出最新型叠对测量系统Archer200，它包含一个能够显著改善性能的增强型光学系统，这对于帮助客户在32nm设计规格......

KLA-Tencor公司日前推出了Surfscan SP2XP，这是一套专供集成电路（IC）市场采用的全新控片检测系统，该系统是根据去年在晶片制造市场上推......

KLA-Tencor公司近日推出Aleris8310和A-1efts8350，在Aleris系列薄膜量测系统中增添了两款新品。这些量测系统采用KLA-Tencor的最新......

KLA-Tencor公司针对硬盘驱动器基片与盘片高级缺陷检查推出了Candela7100系列。7100系列建立在备受肯定且已量产化的Candela产品线......

KLA-Tencor公司日前推出全新的TeraFab系列掩模检测系统，为评定掩膜质量检测掩膜污染提供了灵活的解决方案。TeraFab系统针对不同检......

KLA-Tencor公司日前在SEMICON West2016上为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统：3900系列（以前称为第5代）和2930系......

《电子工业专用设备》讯：KLA-Tencor公司（纳斯达克股票代码：KLAC）日前宣布推出两款全新缺陷检测产品,在硅晶圆和芯片制造领域中针对先......

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KLA-Tencor公司近日推出最新光罩检测技术，名为晶圆平面光罩检测（Wafer Plane Inspection，WPI）。这款突破性的多功能光罩检测技术，是业......

KLA-Tencor公司推出其领先业界的最新版计算光刻机PROLITH 11。这种新型光刻机让用户首次得以评估当前的二次成像方案．并以较低的成......

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