【摘 要】
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作为第三代半导体材料的代表，AlN单晶具有禁带宽度大、击穿电场强度高、电子饱和迁移率高等特点，被广泛应用于紫外和深紫外发光器件的制造。MOCVD是生长AlN单晶薄膜最主要的技术。由于Al-N键在三种III族氮化物（AlN、GaN和InN）中最强，导致MOCVD生长AlN过程的气相寄生反应最为严重，进而造成AlN的生长速率和效率过低、生长窗口过窄等问题。此外，较高的Al-N键能还导致含Al粒子在表面
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（61474058）；
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作为第三代半导体材料的代表，AlN单晶具有禁带宽度大、击穿电场强度高、电子饱和迁移率高等特点，被广泛应用于紫外和深紫外发光器件的制造。MOCVD是生长AlN单晶薄膜最主要的技术。由于Al-N键在三种III族氮化物（AlN、GaN和InN）中最强，导致MOCVD生长AlN过程的气相寄生反应最为严重，进而造成AlN的生长速率和效率过低、生长窗口过窄等问题。此外，较高的Al-N键能还导致含Al粒子在表面的迁移率过低，致使薄膜表面形貌变差。这些问题都与薄膜生长过程发生的化学反应密切相关。本文分别从气相反应路径和表面反应机理两方面，较全面地总结了前人针对MOCVD生长AlN薄膜机理开展的研究工作，并介绍了作者团队近年来在该方向取得的研究成果。最后归纳了现阶段MOCVD生长AlN研究中存在的问题与不足，并在此基础上进行了展望。
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