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期刊论文
有限元法计算膜厚均匀性
有限元法计算膜厚均匀性
来源 :第十一届全国薄膜学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hlf00852
【摘 要】
:
利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法.
【作 者】
:
阴晓俊
费书国
章月州
孔志坤
【机 构】
:
沈阳仪器仪表工艺研究所(辽宁沈阳)
【出 处】
:
第十一届全国薄膜学术交流会
【发表日期】
:
2001年3期
【关键词】
:
膜厚均匀性
发射特性
有限元法
光学薄膜
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利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法.
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