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用电子显微镜剖析存储器器件
用电子显微镜剖析存储器器件
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:czgtbhl
【摘 要】
:
简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到
【作 者】
:
刘剑霜
谢锋
陈一
胡刚
【机 构】
:
复旦大学材料科学系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2004年5期
【关键词】
:
电子显微镜
存储器
透射电镜
栅氧化层
集成电路
IC微结构
SEM
TEM
gate oxide layer
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简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果.
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