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采用溶胶-凝胶工艺在玻璃衬底上制备了Zn1-xMgxO（x=0．1，0．2,0．3，0．4,0．5，0．6,0．7）薄膜。X射线衍射（XRD）谱测试结果发现：在0．1〈x〈0．3范围内，薄膜仍然保持纯ZnO六角纤锌矿结构，（002）面衍射峰位向大角度方向移动；x〉0．3时出现MgO立方相。薄膜光致发光谱研究表明紫外发光峰随Mg含量的增加向短波方向移动，且随着退火温度的升高发生明显蓝移，禁带宽度增大。但是退火温度为590℃的样品较560℃样品的发光峰出现红移。