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基于双频激光干涉的坐标测量机测量不确定度检定系统
基于双频激光干涉的坐标测量机测量不确定度检定系统
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mengyi123
【摘 要】
:
分析了现有坐标测量机精度检定的方法,设计了基于双频激光干涉仪为测量基准的三坐标测量机测量不确定度检定系统,给出了检定过程中测量数据的处理方法和测量不确定度的表达式
【作 者】
:
祝连庆
陈青山
董明利
张舒
【机 构】
:
北京机械工业学院
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
2006年z1期
【关键词】
:
坐标测量机
双频激光干涉仪
测量不确定度
检
定
CMM twin-frequency laser interferometer uncertainty cal
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分析了现有坐标测量机精度检定的方法,设计了基于双频激光干涉仪为测量基准的三坐标测量机测量不确定度检定系统,给出了检定过程中测量数据的处理方法和测量不确定度的表达式.该系统利用高精度的直线静导轨和动导轨的组合可快速方便地实现三坐标测量机单轴和测量空间内测量不确定度的检定.
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