【摘 要】
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半导体真空传感器是在半导体扩散硅压力传感器的基础上采用静电焊接技术而制成的，适用于一般的低真空测量，具有输出灵敏度高、线性好等优点，测量范围０～７６０ｍｍＨｇ。
Semiconductor vacuum s
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半导体真空传感器是在半导体扩散硅压力传感器的基础上采用静电焊接技术而制成的，适用于一般的低真空测量，具有输出灵敏度高、线性好等优点，测量范围０～７６０ｍｍＨｇ。
Semiconductor vacuum sensor is based on the semiconductor diffusion silicon pressure sensor using electrostatic welding technology and made for the general low-vacuum measurement, with high output sensitivity, good linearity, the measurement range of 0 ~ 760mmHg.
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