在HMDS做母源的Si（111）上外延生长3C—SiC

来源 :电子材料快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：decade555

【作者】

：

晓晔

【出处】

：

电子材料快报

【发表日期】

：

1996年10期

【关键词】

：

外延生长 HMDS 硅 3C-SIC 半导体材料

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