【摘 要】
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为了给超精密设备的研制提供参数依据,建立双排孔静压止推气体轴承气膜模型,并结合理论验证其正确性,然后用Fluent进行仿真计算,找出了结构参数对轴承承载力及刚度的影响规律
【机 构】
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西南科技大学制造科学与工程学院,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【基金项目】
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中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(ZD17002)资助
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为了给超精密设备的研制提供参数依据,建立双排孔静压止推气体轴承气膜模型,并结合理论验证其正确性,然后用Fluent进行仿真计算,找出了结构参数对轴承承载力及刚度的影响规律,最后进行了参数优化。Fluent仿真表明:仿真与理论吻合;当0.01 mm<h<0.04 mm有均压腔的轴承的承载力及刚度大于无均压腔的;d越大,轴承的承载力越大,对应刚度的最大值越小;0.1 mm<h 2<1.3 mm时对轴承的承载力及刚度无影响;当h<0.018 mm时d 1越大,轴承的承载力及刚度越大
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