【摘 要】
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用高空间分辨率测温技术与瞬态红外设备测温结果结合的方法提高瞬态红外设备对GaN HEMT结温检测的准确度.对GaN HEMT随脉冲工作条件的结温变化规律进行分析,证明脉冲条件下器
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所计量中心,河北 石家庄,050051
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用高空间分辨率测温技术与瞬态红外设备测温结果结合的方法提高瞬态红外设备对GaN HEMT结温检测的准确度.对GaN HEMT随脉冲工作条件的结温变化规律进行分析,证明脉冲条件下器件各个位置的瞬时温度与平均温度呈线性关系;依据上述关系,采用各个位置的平均温度(高空间分辨率)对瞬态红外设备检测结果进行修正,有效提高瞬态红外设备检测GaN HEMT时的准确度.用有限元仿真结果验证上述方法的准确性.根据该方法,用高空间分辨率的显微红外测温结果对瞬态红外设备测温结果进行修正,实现2.8μm空间分辨率的瞬态温度检测.该方法可以有效提高瞬态红外设备检测GaN HEMT结温结果的准确度.
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