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期刊论文
声表面波器件晶圆键合工艺研究
声表面波器件晶圆键合工艺研究
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bianhao9527
【摘 要】
:
声表面波器件向小型化、集成化、更高性能方向发展,需要制作复合单晶薄膜和采用晶圆级封装。该文针对关键工艺中的晶圆键合工艺开展研究,提出工艺要求,简述有关键合工艺要求
【作 者】
:
卢丹丹
米佳
彭兴文
谭昕怡
金中
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第二十六研究所
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
2020年3期
【关键词】
:
声表面波器件
晶圆级封装
复合单晶薄膜
晶圆键合
设备特点
surface acoustic wave devicewafer level packagingc
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声表面波器件向小型化、集成化、更高性能方向发展,需要制作复合单晶薄膜和采用晶圆级封装。该文针对关键工艺中的晶圆键合工艺开展研究,提出工艺要求,简述有关键合工艺要求和设备特点,并进行了金属键合工艺验证。实验证明,设备和工艺能满足产品封装要求。
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