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为了快速地自动计算非规则几何槽形光栅的衍射效率，使用MatLab软件模拟各种槽形，自动荻取槽形参数，并根据这些槽形参数运用严格耦合波分析方法，计算光栅的衍射效率。结果表明所设计的计算程序能够快速自动分析非规则几何槽形并计算其衍射效率。该方法可用于循环计算槽形逐渐变化过程中的衍射效率。
非规则几何槽形光栅衍射效率自动计算方法
【摘 要】
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为了快速地自动计算非规则几何槽形光栅的衍射效率，使用MatLab软件模拟各种槽形，自动荻取槽形参数，并根据这些槽形参数运用严格耦合波分析方法，计算光栅的衍射效率。结果表明所设
【机 构】
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南京信息职业技术学院微电子学院
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2010年4期
【基金项目】
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江苏省科技厅科技支撑计划资助项目(BE2009171)
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