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应用材料公司日前发布了两款新系统：AKT-20KTM TFE PECVD＊和Applied AKT-40KTM TFEPECVD，主要面向高解析度、轻薄型电视和移动设备的柔性OLED显示屏幕的批量生产，能有效沉积薄膜封装阻隔层，对保护敏感性极高的OLED器件具有重要意义，成为材料工程领域的又一项重大突破。这两款新系统能帮助显示器制造商替代设备前方的刚性绝缘玻璃，开发出适用于新一代消费电子产品的可弯曲的和曲面显示屏。