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本文利用中心电极射频感应等离子体对金属管件内壁进行表面改性处理,验证了该方法的合理性以及可行性.利用该方法制备出了类金刚石（DLC）薄膜,为管型和瓶型样品的内壁强化提供新的手段.
中心电极射频感应等离子体管件内表面改性
【摘 要】
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本文利用中心电极射频感应等离子体对金属管件内壁进行表面改性处理,验证了该方法的合理性以及可行性.利用该方法制备出了类金刚石（DLC）薄膜,为管型和瓶型样品的内壁强化提供新
【机 构】
：
中央民族大学物理与电子工程学院
【出 处】
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中央民族大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2007年1期
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