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<正>随着CMOS晶体管尺寸不断缩小到次微米级,正如摩尔定律的预测,在高效率、高密度集成电路中的晶体管数量上升到几千万个。这些数量庞大的有源元件的信号集成需要多达八层的高密度金属连线,
双大马士革工艺的发展及挑战
【摘 要】
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<正>随着CMOS晶体管尺寸不断缩小到次微米级,正如摩尔定律的预测,在高效率、高密度集成电路中的晶体管数量上升到几千万个。这些数量庞大的有源元件的信号集成需要多达八层的
【机 构】
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应用材料（中国）公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年05期
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