金属连线相关论文
详细讨论了考虑通孔自热的金属连线温度分布模型，并通过该模型，计算了不同通孔直径和高度情况下，单一及并行金属连线的温度分布。计算......
作为集成电路的电阻单元，掺硼的多晶硅电阻在于欧级的范围同存在阻值不稳定性，尤其在金属连线下更为严重。分析了不同工艺条件下制作......
