固体硼掺杂应用初探

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阐述了佳硼在晶体管制造中作为硼杂质扩散的应用,提出了一种简单有效的低温氧化改进工艺。结果表明,本工艺不仅提高了生产效率,而且获得了较满意的产品质量。
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