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采用低压金属有机化学气相沉积（LPMOCVD）法，成功地在（0001）晶向的蓝宝石（A1203）衬底上制备了高质量的GaN薄膜。并利用X射线衍射（XRD）谱和椭圆偏振光谱（SE）对其结构和光学特性作了表征。XRD谱中，在34．5°和72．9°附近出现了两个尖锐的衍射峰，分析表明这两个衍射峰分别对应纤锌矿（Wurtzite）结构GaN薄膜的（0002）和（0004）晶向。其中GaN（0002）晶向衍射峰的半高宽（FWHM）很窄，只有0．1°左右，并且GaN（0004）晶向衍射峰