脉冲偏压对等离子体沉积DLC膜化学结构的影响

来源 :材料科学与工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bohaiyifan

【摘要】

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以乙炔为气源,用等离子体基脉冲偏压沉积(plasma based pulsd bias deposition缩写PBPBD)技术进行了不同负脉冲偏压条件下制备DLC膜的试验.通过X射线光电子谱(XPS)、激光喇曼

【作者】

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孙明仁夏立芳孙跃马欣新孙立海

【机构】

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哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨机械设备进出口公司

【出处】

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材料科学与工艺

【发表日期】

：

2002年1期

【关键词】

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脉冲偏压 DLC膜化学结构等离子体沉积类金刚石碳膜 pulsed bias DLC film chemical structure

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以乙炔为气源,用等离子体基脉冲偏压沉积(plasma based pulsd bias deposition缩写PBPBD)技术进行了不同负脉冲偏压条件下制备DLC膜的试验.通过X射线光电子谱(XPS)、激光喇曼光谱[Raman]以及电阻分析方法考察了负脉冲偏压幅值对DLC膜化学结构的影响.结果表明由-50 kV到-10 kV随负脉冲偏压降低,DLC膜中SP3键分数单调增加,但当脉冲偏压为0时形成高电阻的类聚合物膜,说明荷能离子的轰击作用是形成DLC化学结构的必要条件.键角混乱度和SP2簇团尺寸与脉冲偏压

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