【摘 要】
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主要阐述了电荷泵技术在14 V HV MOS晶体管可靠性研究中的应用。使用了一种改进的电荷泵技术分析了经过热载流子加压后的器件特性。使用这种方法,我们可以精确描述器件损伤的
【机 构】
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上海集成电路研发中心,华东师范大学,
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主要阐述了电荷泵技术在14 V HV MOS晶体管可靠性研究中的应用。使用了一种改进的电荷泵技术分析了经过热载流子加压后的器件特性。使用这种方法,我们可以精确描述器件损伤的位置和程度,以及可以精确评估由于HCI效应引起的界面缺陷的变化,为器件优化与工艺改进提供重要参考信息。
The application of charge pump technology in the reliability research of 14 V HV MOS transistor is mainly described. An improved charge pump technique was used to analyze the device characteristics after hot carrier pressurization. Using this method, we can accurately describe the location and extent of device damage, as well as accurately evaluate changes in interface defects caused by the HCI effect, providing important reference information for device optimization and process improvement.
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