【摘 要】
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结合单晶蓝宝石衬底磨粒抛光工艺的最新研究进展,从磨粒加工的去除过程出发,综述了应用于单晶蓝宝石衬底抛光的游离、固结、半固结磨料抛光工艺的材料去除模型、工艺特点及各因素影响规律,从材料去除率和表面质量的角度对不同的磨粒抛光工艺展开了分析。根据单晶蓝宝石衬底的应用需求和目前抛光方法存在的不足,指出了蓝宝石衬底超精密抛光技术的下一步研究方向。
【基金项目】
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福建省教育厅中青年教师教育科研项目(JAT190402),福建工程学院科研启动基金项目(GY-Z19124)。
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结合单晶蓝宝石衬底磨粒抛光工艺的最新研究进展,从磨粒加工的去除过程出发,综述了应用于单晶蓝宝石衬底抛光的游离、固结、半固结磨料抛光工艺的材料去除模型、工艺特点及各因素影响规律,从材料去除率和表面质量的角度对不同的磨粒抛光工艺展开了分析。根据单晶蓝宝石衬底的应用需求和目前抛光方法存在的不足,指出了蓝宝石衬底超精密抛光技术的下一步研究方向。
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