国外超精密机床的发展

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机械工业领域科技密集化产品的迅速发展,要求机床行业提供起精密加工设备。这些设备的加工精度应达到0.01~1μm(电子及航空工业的要求达0.005~0.1μm),加工表面粗糙度R.0.001μm。 为满足上述要求,必须对金属加工新工艺进行广泛的探讨。在改进机床结构、更新测试手段与开发新 The rapid development of technology-intensive products in the field of machinery industry requires the machine tool industry to provide precision processing equipment. The machining accuracy of these devices should reach 0.01 ~ 1μm (the requirements of electron and aviation industry reach 0.005 ~ 0.1μm), the processing surface roughness R.0.001μm. In order to meet the above requirements, we must conduct a comprehensive discussion of the new metal processing technology. In improving the machine structure, testing methods and new development
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