PT/P(VDF—TrFE)复合膜及悬空结构热释电传感器研究

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将溶胶-凝胶法制备的钛酸铅(PT)纳米粉粒掺入聚偏氟乙烯-三氟乙烯共聚物[P(VDF-TrFE)]中,制成PT/P(VDF-TrFE)复合热释电敏感膜,提高其热释电优值和探测优值。用KOH腐蚀硅衬底使PT/P(VDF-TrFE)敏感膜热释电传感器形成悬空结构。实验结果表明,掺入体积比为0.12PT粉粒的PT/P(VDF-TrFE)敏感膜,比同样成膜条件的P(VDF-TrFE)膜的热释电优值提高20
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