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本文介绍了一种具有静电自锁功能的微机械加速度开关的原理，并且做了相应的理论分析。
一种新型微机械加速度开关的设计
【摘 要】
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本文介绍了一种具有静电自锁功能的微机械加速度开关的原理，并且做了相应的理论分析。
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1997年10期
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