加速度开关相关论文
本文介绍了一种基于SiO2/Cr/Au多层掩膜的MEMS加工技术,用于制作扭摆式硅电容式加速度计的硅零件.它具有对所用设备要求低,成本低,......
磁-机耦合多稳态机构,顾名思义,借助弹性机构与永磁体之间的相互耦合作用,在行程范围内能够稳定保持在多个稳定状态,具有定位精度......
加速度开关是对加速度敏感,并在大干阈值条件下,实现电学导通的传感器。基于微机电系统(MEMS)技术制造的微加速度开关具有体积小,重量......
着重介绍了叉簧式弹性支撑的基本类型及其在工作环境条件下的刚度计算公式。并对采用了该种弹性支撑的加速度开关的工作原理、性能......
介绍了一种新型机械式惯性加速度开关的结构和工作原理,对给定工作环境下开关的运动过程进行了分析和设计计算,得出了此开关部分设......
加速度开关是感受加速度并输出开关信号的一类惯性器件。基于MEMS技术研制的微加速度开关需要感受的加速度值远低于其承受的环境冲......
加速度开关是一种由弹簧—质量系统构成的惯性测量装置,当进行随机振动试验时,与敏感质量块刚性相连的弹簧片会随着质量块的运动受......
本文描述利用凸凹翘曲现象的可调加速度开关的设计制造和测试。一套SiO2/P^+-Si双层晶体梁加工成不同长度800μm、990μm和1000μm。在加工中,双层晶体梁因两......
一种新型的加速度开关,它采用了叉簧式弹性支撑结构,着重介绍叉簧弹性支撑的类型及其刚度计算公式的推导,并对所设计的加速度开关的工......
针对弹簧质量块式加速度开关普遍存在过载值精度低、生产调试过程中动作过载值易发生偏移问题。文章对典型压缩弹簧质量块式加速度......
本文通过建立微机械加速度开关检测质量运动微分方程,利用数值分析方法对开关动态特性进行了分析,从而为微机械加速度开关的动态设计......
本文介绍了一种具有静电自锁功能的微机械加速度开关的原理,并且做了相应的理论分析。...
用改装了的加速度开关(输出连续模拟信号),与两个标准传感器进行振动波形相位的比较,从而判断隔振器对加速度开关影响。试验方法是:将振......
加速度开关作为一种集传感及执行于一体的惯性器件,不仅能够感知加速度信号,而且受控于加速度阈值来执行开关动作。工程中对其性能......
在航空航天、汽车工业、惯性导航、火箭、汽车检测、鱼雷控制领域中,各种新技术不断的涌现,各种器材都在朝着愈来愈微型化的方向发......
针对大长径比弹丸高速侵彻中刚体过载信号与高频振动信号混叠带来目标难以识别的问题,研究一种具有开关特性的压电加速度传感器;建......
MEMS开关中,受表面效应的影响,黏着力对开关触点的工作可靠性有极大的影响。本文以固体力学、弹塑性力学和黏着力学为基础,建立触......
针对微机电系统(MEMS)器件的低可靠性问题,以MEMS加速度开关为研究对象,利用ANSYS有限元分析软件,采用“扭梁-悬臂梁-质量块”结构......