【摘 要】
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MEMS 传感器是采用微加工技术的新一代传感器。是MEMS 技术的一个主要分支。 我国一些高校和研究机构从事MEMS 传感器的开发和研究,但在灵敏度和可靠性方面与国外相比仍有较
【机 构】
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中煤科工集团常州研究院有限公司,天地（常州）自动化股份有限公司
【基金项目】
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天地科技重点研发项目2019-TD-ZD007
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MEMS 传感器是采用微加工技术的新一代传感器。是MEMS 技术的一个主要分支。 我国一些高校和研究机构从事MEMS 传感器的开发和研究,但在灵敏度和可靠性方面与国外相比仍有较大差距。在应用过程中,通常将MEMS 传感器工艺与智能传感器技术相结合,在MEMS 器件上添加单片机等外围电路,在其体积小、功耗低等特点的基础上,更添加了无线传输、设备自检、自补偿等功能,使单个传感器更加独立化和智能化。在火电、煤化工、冶金、港口仓储等需要大量储煤的行业,煤炭将长期储存在储煤筒仓、圆形煤场等设施中。煤在氧化过程中会产
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