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期刊论文
MEMS气敏传感器
MEMS气敏传感器
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:caonimadoucunzai
【摘 要】
:
随着MEMS技术的飞速发展,各种MEMS器件和系统相继问世,MEMS气敏传感器是其中之一.本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器.
【作 者】
:
惠春
徐爱兰
徐毓龙
【机 构】
:
上海交通大学
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
MEMS
气敏传感器
牺牲层技术
微电子机械系统
MEMS technology sacrificial layer technique MEMS gas se
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随着MEMS技术的飞速发展,各种MEMS器件和系统相继问世,MEMS气敏传感器是其中之一.本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器.
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